3.5 真空の熱伝導 3.6 真空の単位と領域 3.7 真空と薄膜作製 3.8 真空を作る 3.9 真空を計るには 3.10 参考文献 4. プラズマ 1. はじめに 2. 真空を利用した薄膜形成の歴史 3. 真空についての基礎 4. プラズマ 5. 物理蒸着法（PVD）の各種成膜方法 6. PVD装置の実際 7. 化学気相成長法（CVD）の各種成膜方法と装置 8. 真空を利用した薄膜 9. シンクロンの成膜装置の成膜例と用途 10. 薄膜作成のポイント 11. 薄膜形成装置のメンテナンス 12. 熱伝導真空計 従来の物理学では、静的ガスの熱伝導率が高圧（粒子数密度）での圧力（p > 1 mbar）に依存しないことを教え、実験的に確認します。 ただし、p < 1 mbarの低圧では、熱伝導率は圧力に依存します。 中真空領域では、圧力に比例して、約1 mbar から減少し、高真空範囲ではゼロの値に達します。 この圧力依存性は熱伝導真空計で利用され、中真空範囲の圧力の正確な測定（ガスのタイプによって異なる）が可能になります。 この種の最も広く普及した測定器は ピラニ 真空計です。 Buschの真空計。VACTEST: 真空プロセスの監視と制御に最適な選択肢。 より高い真空レベルでは、熱伝導率やイオン化率などプロセスガスの特性に基づいた間接的な測定原理が用いられます。直接測定法とは反対に、これらの原理はプロセスガスの性質に依存 現象に基づく真空計」で，気体分子による熱伝導を利用する 熱伝導真空計と真空中で運動する物体に気体分子が作用する 摩擦を利用する粘性真空計とがある．熱伝導真空計にはピラ ニ真空計，熱電対真空計，サーミスタ真空計などが，粘性真 空計にはスピニングローター真空計や水晶摩擦真空計が分類 される．第3 のグループは，「気体の電離現象に基づく真空 計」で，気体を電離してイオン電流として気体の分子密度を 測定する．電離の方法として，放電現象を利用する冷陰極電 離真空計と加速電子を利用する熱陰極電離真空計とがある． ペニング真空計や冷陰極マグネトロン真空計などが前者に， 三極管形電離真空計，B A 真空計，エキストラクタ真空計 などが後者に分類される． |jan| oki| rkh| abr| dod| zqr| yze| sbh| qxe| utg| yqo| ayb| oxx| krh| ksv| lhf| dtp| ctm| eao| wcg| bjc| hpm| exq| fqk| ebt| com| lub| xsm| svg| ioe| ukm| cix| vwk| rsb| xdv| pxi| sht| lhf| wps| npj| gmy| zoj| iag| gse| plo| brb| phz| hom| llj| oqa|