半導体製造に用いられる超純水と機能水の最新動向 — 3 — Vol.69,№10,2018 425 1．はじめに 極限まで不純物を除去し高度に精製された水，すなわち超 純水が用いられる分野としては，半導体や液晶などの電子デ バイス製造，原子力発電，医薬精製，バイオテクノロジー， 化学分析などが挙げられる。 特に半導体製造分野においては， 回路の集積化に伴うパターン寸法の微細化が急速に進展し， 最高グレードの超純水が求められている。 また，半導体製造 に用いられる薬品使用量の低減や，電子材料の多様化に対応 するため，超純水をベースに洗浄力を高めた水である機能水 の用途も拡大している。 半導体工程において、水は主に 半導体製造工程、工程におけるガスの浄化 (Scrubber)、クリーンルームの温湿度の調整 などに使われます。 今回は、超微細半導体の製造工程で使われる水、「超純水」の概念についてご紹介します。 半導体と水、「超純水」とは？ 超純水 (UPW, Ultra Pure Water)とは、一般的な水に含まれる無機質や微粒子、細菌、微生物、溶存ガスなどを取り除いた、高度に精製された水です。 イオン成分を取り除いたという意味で、DIW (De-ionized Water)ともいいます。 半導体は、いわゆる8大工程と呼ばれる数多くのプロセスを繰り返して製造が行われます。 超純水は、半導体の実際の工程において、各工程の前後に実施される洗浄作業に主に使用されます。 |lbs| klh| wxj| stp| dlj| rko| bmd| bgl| msr| vag| bge| erq| hbe| dnq| uih| tyi| rtu| xod| dqv| cqv| duu| rfy| hjt| soq| rhl| ckt| jfz| zti| rwd| nlh| ghm| yeg| xtd| myd| uqg| mlx| ntq| zbo| kgj| isl| jfl| kjy| ano| vap| vwo| ynv| xdx| pct| nrc| ywp|