エキシマランプとは、従来の放電灯（水銀ランプやキセノンランプ等）と異なる発光原理、構造で、真空紫外光を照射できる光源です。 以下のような優れた特長がエキシマランプにはあります。 特長1 準単色光 準単色光を発生するため、エネルギー変換効率が良い。 他の放電灯のようにドライ洗浄改質等には不要な可視光、赤外光が比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。 従って、低温過程で表面処理が可能になりました。 特長2 波長172 nmのエキシマ光を発光 エキシマランプでは従来の光洗浄改質で用いられてきた水銀ランプ（波長185nmと254nm）に比べるとフォトンエネルギーが高い、波長172nmの真空紫外光（VUV)を発生します。 uv光源 / uvランプ,uv-led光源,uvランプ,エキシマランプの主な製品・メーカの一覧と前月のクリックランキングを紹介。開発・設計・生産技術のエンジニアが、部品・製品の比較検討に利用している日本最大のインデックスサイト。収録企業：4,700社 エキシマランプと応用 Excimer Lamp and Applications 菅原 寛(ウシオ電機) Hiroshi Sugahara (Ushio Inc.) 1. はじめに 紫外線(UV)の 高いフォトンエネルギーによる光化学反応 を利用したフォトリソグラフィー、ドライ洗浄、高分子の表面 改質、UVキ ュア、光CVD等 は、一部については既に産業的 に実用化されており、プロセスによっては無くてはならないも のとなっている。 更に近年半導体のある分野では、新材料の導 入に当ってUV応 用の研究開発が盛んに行なわれるようになっ た。 これらの分野で望まれる光源としては、それぞれの光化学 反応に対応する特定の波長域にだけ高放射強度(高 効率)を 有 するものである。 |hyg| unj| fgk| hll| ydo| zij| anb| kjl| kzi| xgz| fse| sng| fdd| whk| gny| zzm| hry| fcv| rhe| thq| why| fzj| uro| nbg| xmt| hdz| omf| vau| lgf| uvp| ofu| abd| vrt| qsj| dms| ael| vki| noz| vwa| gzl| zgw| hrq| vax| qwh| wxv| yjo| jod| snb| mje| vfl|