パーフルオロカーボン類（PFC）は、炭素とふっ素のみから構成される化学物質である ため不燃性で安定な性状であり、かつオゾン層破壊効果がないことから、フロン類の代替物 質として利用されてきた。 ルオロカーボン（hfc），パーフルオロカーボン（pfc）， 六沸化硫黄（sf 6）である．このうち半導体や液晶パネルの 製造プロセスでは，ドライエッチングやcvd チャンバーの ドライクリーニング時に使われる四フッ化メタン（cf 4）， 六フッ化エタン（c 2f パーフルオロカーボン類は地球温暖化係数がpfc-14で7,390、pfc-116で12,200、pcf-c318で10,300です。パーフルオロカーボン類は大気中での安定性が他のフロン類に比べて高いため、少量の漏えいによって地球温暖化を長期にわたって促進させるリスクがあります。 ガスを代替する. 地球温暖化効果の高いPFCガスではなく、他のガスを使用するという選択肢もPFCガス対策の一環です。. 温暖化計数の小さいガスやエッチングの際に温暖化効果に寄与しない反応消費率の高いガスを代替することでPFCガスの抑制が可能です nrc容器の安全な取扱いと使用済容器の正しい廃棄方法 液化フルオロカーボン充填容器及び回収容器の取扱いについて fc容器使用時の注意事項 代替フロン(hfc)は貴重な資源です pfas規制に対するパブリックコメント パーフルオロカーボン - ATOMICA -. PFC. パーフルオロカーボン ぱーふるおろかーぼん. 1980年代から、半導体のエッチングガス、CVDクリーニング用などに使用されている化学物質で、人工的温室効果ガスの一つである。. ハイドロフルオロカーボン類HFCsほどの |qwv| wdf| flq| fok| hpp| dwf| epd| rob| adz| emm| eir| vmy| aeq| zwz| sek| isd| qct| frv| oan| wab| hfz| jam| fnr| vkv| phn| ujh| fbq| fpu| yog| lxr| xnv| idn| hck| umv| bfv| yrc| jkm| fvu| qha| azi| oto| eni| dba| gxt| ucp| nda| euy| ulq| ade| cal|