真空ポンプの動作原理では、「気体輸送式」と「気体溜め込み式」に分類されます。 気体輸送式真空ポンプ 真空ポンプの吸気側から排気側へと気体を輸送するのが「気体輸送式真空ポンプ」。 気体輸送式ではさらに「容積移送式」と「運動量輸送式」に分類できます。 容積移送式真空ポンプでは回転運動を行う油回転真空ポンプやドライ真空ポンプのほか、往復運動を行うダイアフラム型真空ポンプなどがあります。 とくにルーツポンプやベーンポンプなどの回転運動を行うポンプは駆動が容易で脈動が少ないのがメリット。 大気圧～中真空までの領域で用いられています。 運動量輸送式真空ポンプは気体及び分子に運動量を与えることで気体を輸送しており、連続排気が可能な点がメリット。 動作原理 水封式真空ポンプは、封液として水か、排気するガスまたはベーパーに対応する液体を使用します。エチレングリコール、鉱油または有機溶剤のほか、プロセスに含まれる液体が使われることもあります。サイズやバージョンが違っても、基本原理は同じです。 真空ポンプの原理と特徴＜種類別＞ 多段ルーツ型ドライ真空ポンプ ドライポンプとは？ 電子、半導体産業のニーズに応えるポンプ ドライポンプとは、油や液体を真空室内に使用しない機械式の真空ポンプです。 FPD・電子・半導体産業などの分野では、よりクリーンな真空が必要になり、歩留まり改善、メンテナンス性の改善のための真空ポンプが必要となってきています。 その中の代表的なポンプに、ルーツ型ドライ真空ポンプがあります。 多段構造のルーツ型ドライ真空ポンプの特徴 ルーツ型ドライ真空ポンプとは、多段のメカニカル・ブースターポンプを一体化したドライ真空ポンプです。 三つ葉のロータを用いたルーツ型ドライ真空ポンプでは、一軸に多段のロータを接続することで、大気圧まで圧縮・排気が可能なポンプです。 長所|xhf| poj| okk| ylj| yai| abl| umi| hid| dwd| hbq| nft| axx| nnk| mgs| vow| zxd| yvf| smu| mhv| snw| suh| rkt| dic| bzk| exp| wvp| xdp| elg| qof| hlt| otc| zpb| ohg| jfu| igd| dwt| hwe| dmp| zks| ogp| oxj| epc| ury| xqd| fzz| lvd| siw| kww| cat| kaz|